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（原標題：萬(wàn)業(yè)企業(yè)旗下嘉芯半導體尾氣處理設備中標特色工藝生產(chǎn)線(xiàn)建設項目）

據必聯(lián)網(wǎng)5月23日發(fā)布的中標結果公告顯示，萬(wàn)業(yè)企業(yè)(600641)旗下嘉芯迦能的雙燃燒+雙水洗尾氣處理設備中標特色工藝生產(chǎn)線(xiàn)建設項目，中標數量為23臺。

據悉，自2022下半年開(kāi)始，萬(wàn)業(yè)企業(yè)子公司嘉芯半導體多次中標多款設備。包含氮化硅等離子刻蝕機、金屬等離子刻蝕機、側墻等離子刻蝕機、高密度等離子薄膜沉積設備（HDP-CVD）、二氧化硅等離子薄膜沉積設備（PECVD）、摻雜硼磷二氧化硅薄膜化學(xué)沉積設備（SACVD）、鈦/氮化鈦沉積設備（MOCVD）、鋁銅金屬濺射設備（PVD）以及快速熱處理（RTP）等。

萬(wàn)業(yè)企業(yè)持續支持國產(chǎn)設備的成長(cháng)與研發(fā)，以自主研發(fā)與外延式并購雙輪驅動(dòng)戰略布局半導體設備材料賽道。目前公司旗下的凱世通和嘉芯半導體已疊加形成多個(gè)半導體前道核心設備產(chǎn)品線(xiàn)，業(yè)務(wù)覆蓋離子注入機、刻蝕機、薄膜沉積、快速熱處理等多類(lèi)設備。公司以國內獨有的“1+N”半導體設備平臺公司的多品類(lèi)賽道，致力于推動(dòng)中國集成電路產(chǎn)業(yè)的蝶變躍升。（CIS）

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