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12月13日，芯源微(688037.SH)在2022年第三季度業(yè)績(jì)說(shuō)明會(huì )上表示，公司前道涂膠顯影設備在28nm及以上工藝節點(diǎn)的多項關(guān)鍵技術(shù)方面取得突破；光刻膠涂覆缺陷及成本控制技術(shù)、在線(xiàn)式工藝缺陷檢測技術(shù)均達到國際先進(jìn)水平。前道物理清洗機在自動(dòng)刷壓控制技術(shù)上已達到國際先進(jìn)水平。公司前道offline、I-line、KrF機臺均實(shí)現了批量銷(xiāo)售，下游客戶(hù)覆蓋國內頭部邏輯、存儲、功率器件等客戶(hù)，前道Track簽單實(shí)現了快速放量；前道物理清洗機繼續鞏固國內市場(chǎng)龍頭地位；后道及小尺寸銷(xiāo)售也符合公司簽單預期。

三季報數據顯示，芯源微2022年前三季度公司營(yíng)業(yè)總收入8.97億元，同比上升63.87%，歸母凈利潤1.43億元，同比上升169.42%。第三季度營(yíng)業(yè)總收入3.92億元，同比上升99.93%，歸母凈利潤7362.0萬(wàn)元，同比上升308.63%。前三季度綜合毛利率達到40.1%，同比增長(cháng)0.6個(gè)百分點(diǎn)，整體毛利率水平有所提升。研發(fā)費用率達到10.57%，芯源微表示，未來(lái)公司將繼續保持高強度研發(fā)。

此外，針對該公司三季報，市場(chǎng)專(zhuān)業(yè)人士分析認為，芯源微作為前道涂膠顯影設備國產(chǎn)領(lǐng)軍者，公司積極豐富前道涂膠顯影&清洗設備產(chǎn)品線(xiàn)，成長(cháng)空間持續打開(kāi)。1.涂膠顯影設備Off-line、I-line、KrF機臺均實(shí)現批量銷(xiāo)售，前道涂膠顯影機新簽訂單規模同比大幅增長(cháng)，其中I-line、KrF涂膠顯影機獲得了多家頭部晶圓廠(chǎng)的小批量重復訂單，向先進(jìn)制程產(chǎn)品延伸，將徹底打開(kāi)公司在涂膠顯影領(lǐng)域的成長(cháng)空間。2.清洗設備前道SpinScrubber單片式物理清洗機已較為成熟，成功實(shí)現進(jìn)口替代。2021年募投項目加碼市場(chǎng)空間更大的單片式化學(xué)清洗機，有望成為第二成長(cháng)曲線(xiàn)。

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