8月11日，為期3天的第十一屆(2023年)中國電子專(zhuān)用設備工業(yè)協(xié)會(huì )半導體設備年會(huì )暨產(chǎn)業(yè)鏈合作論壇在無(wú)錫落下帷幕。與會(huì )專(zhuān)家指出，國產(chǎn)半導體設備已經(jīng)取得突破性進(jìn)展，海外設備進(jìn)口和本土設備銷(xiāo)售呈現“此消彼長(cháng)”態(tài)勢，并預計2023年國產(chǎn)主要半導體設備制造商訂單有望穩步增長(cháng)。

本土設備突破性增長(cháng)

中國電子專(zhuān)用設備工業(yè)協(xié)會(huì )理事長(cháng)、北方華創(chuàng )董事長(cháng)趙晉榮在致辭中表示：“半導體設備是支撐電子行業(yè)發(fā)展的基石，中國半導體市場(chǎng)在過(guò)去11年來(lái)也規?；爻掷m發(fā)展。尤其是近年來(lái)在日益復雜的國際形勢下，本土設備行業(yè)更是取得了突破性進(jìn)步。”

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根據中國電子專(zhuān)用設備工業(yè)協(xié)會(huì )統計，2022年，國內77家規模以上半導體設備制造商銷(xiāo)售收入累計完成593億元，與2021年386億元相比，同比增長(cháng)53.6%。其中，2022年前十家設備制造商完成銷(xiāo)售收入438億元，占77家合計收入73.9%。目前我國半導體設備及零部件企業(yè)的數量也已經(jīng)超過(guò)200家。

趙晉榮指出，過(guò)去幾年，國內多家龍頭骨干裝備企業(yè)在刻蝕、薄膜、清洗、注入、CMP及封裝測試等關(guān)鍵設備方面取得了突破，本土從事材料零部件的龍頭企業(yè)也呈現出快速增長(cháng)的態(tài)勢，在射頻電源、流量計、機械手、真空泵、精密石英、高純石墨、高純板材、特種不銹鋼及精細化工材料等方面都取得了突破性進(jìn)展。

面對疫情、世界經(jīng)濟衰退和外部壓力加大的三重沖擊，中國半導體設備行業(yè)在國內市場(chǎng)的推動(dòng)下，保持了快速發(fā)展態(tài)勢。在半導體設備細分賽道中，集成電路設備銷(xiāo)售收入2022年達到319億元，同比增長(cháng)86.1%，增長(cháng)速度最快，是實(shí)現銷(xiāo)售收入最多的市場(chǎng)，同時(shí)集成電路設備也是出口交貨值最大的賽道。

設備進(jìn)口或再度下降

中國是全球最大的半導體設備市場(chǎng)，本土半導體設備市場(chǎng)在全球市場(chǎng)占比不到10%，但數據顯示，自2017年以來(lái)國內集成電路裝備銷(xiāo)售額呈現指數級增長(cháng)。

中國電子專(zhuān)用設備工業(yè)協(xié)會(huì )常務(wù)副秘書(shū)長(cháng)金存忠表示，在海外政策持續升級對華半導體管制背景下，下游用戶(hù)擔心未來(lái)斷供等風(fēng)險，使用國產(chǎn)設備的意愿更加強烈，進(jìn)一步推動(dòng)了國產(chǎn)設備發(fā)展，同時(shí)，核心部件替代進(jìn)口也加快了設備產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程，設備核心部件國內供應鏈正在形成并得到快速發(fā)展。

根據協(xié)會(huì )統計，以銷(xiāo)售額為統計口徑，2022年國產(chǎn)半導體設備在中國市場(chǎng)占有率為23%，同比增長(cháng)3.4個(gè)百分點(diǎn)；同時(shí)，在國產(chǎn)設備市場(chǎng)占有率提升背景下，海關(guān)數據顯示，去年主要半導體設備中國進(jìn)口額同比減少8.1%。其中，等離子體干法刻蝕機、化學(xué)氣相沉積設備(CVD)以及氧化、擴散、退火及其他熱處理爐進(jìn)口規模位居前三，分別同比減少12.7%、11.9%和9.6%。

“預計2023年中國半導體設備進(jìn)口額會(huì )繼續減少。”金存忠介紹，海關(guān)統計數據顯示，今年上半年中國主要半導體設備進(jìn)口額為72.94億美元，同比減少13.3%。除分步重復光刻機、集成電路工廠(chǎng)專(zhuān)用自動(dòng)搬運機器人、研磨機和切割設備外，其余設備全部負增長(cháng)，等離子體干法刻蝕機上半年進(jìn)口額甚至同比減少近三成。

相比設備進(jìn)口額預降，國產(chǎn)主要半導體設備制造商訂單有望穩步增長(cháng)。據協(xié)會(huì )預測，2023年國產(chǎn)半導體設備銷(xiāo)售收入增長(cháng)38%左右，將達到817億元。其中，集成電路設備預計增長(cháng)40%，達到450億元；其次第二大細分板塊太陽(yáng)能電池片設備預計增長(cháng)35%，達到310億元。

在行業(yè)周期低谷期，今年上半年A股半導體設備類(lèi)上市公司業(yè)績(jì)逆勢增長(cháng)。盛美上海最新公告，今年上半年公司實(shí)現凈利潤約4.39億元，同比增長(cháng)85.74%，公司半導體清洗設備以及其他半導體設備的營(yíng)業(yè)收入均有較大增長(cháng)。北方華創(chuàng )預計今年上半年實(shí)現歸母凈利潤16.7億元~19.3億元，同比增長(cháng)121.30%~155.76%；中微公司預計今年半年度實(shí)現歸母凈利潤9.8億元~10.3億元，同比增加109.49%~120.18%，扣非后凈利潤同比增加13.45%~22.53%。

產(chǎn)業(yè)鏈加強協(xié)作攻關(guān)

雖然國產(chǎn)半導體設備在諸多領(lǐng)域實(shí)現了從0到1的突破，但是關(guān)鍵設備、零部件以及滿(mǎn)足特殊工藝生產(chǎn)需求的國產(chǎn)半導設備依舊缺乏，良率、穩定性等還待進(jìn)一步提升，在全球半導體設備市場(chǎng)的規模依舊偏小。

金存忠指出，國產(chǎn)半導體設備進(jìn)一步發(fā)展，還亟需解決光刻機等關(guān)鍵設備國產(chǎn)化率低等問(wèn)題，目前國產(chǎn)制造商能夠制造的主要是先進(jìn)封裝和LED領(lǐng)域的光刻機，而且光刻機的難點(diǎn)不僅在制造出來(lái)，還要保證設備的效率和良率。另外，關(guān)鍵零部件成本在設備進(jìn)口成本占比較大等問(wèn)題，有的廠(chǎng)商反饋零部件成本占比高達六成。

作為半導體設備終端用戶(hù)，半導體制造廠(chǎng)商尤為關(guān)注生產(chǎn)效率和良率，就需要設備廠(chǎng)商與產(chǎn)業(yè)鏈進(jìn)一步合作，攻關(guān)克難。

“沒(méi)有95%以上的良率沒(méi)有把成本降下來(lái)，企業(yè)是不能生存的，而且生產(chǎn)的越多，虧損的越多。”中國電子專(zhuān)用設備工業(yè)協(xié)會(huì )副秘書(shū)長(cháng)、積塔半導體(上海)有限公司總工程師李晉湘表示，建議半導體制造企業(yè)和設備企業(yè)、材料廠(chǎng)商等進(jìn)一步深化合作，推動(dòng)工藝持續進(jìn)步，不僅攻克具有經(jīng)濟效益規模而難度小的設備，也要挑戰量小而難度大的設備，并且加強半導體設備的配套軟件開(kāi)發(fā)，建立和完善培訓系統，讓國內工程師能夠掌握和使用好本土設備。

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